单晶硅炉石墨坩埚抗氧化涂料

在直拉单晶炉的热系统中，单晶炉热场的好坏直接关系到单晶硅的质量，合格的热场能够生长出高质量的单晶，因此创造良好的热场条件，在直拉单晶工艺上有非常重要的意义。而单晶炉中各部分工件使用寿命是整个热场系统的关键。

单晶炉热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、加热器、电极、石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、导流筒、石墨螺栓，炉底、金属电极、托杆。其中石墨坩埚是单晶热场系统中的关键核心部件，石墨坩埚最主要的两个作用为支撑作用和热量传递的作用。由于高温时石英坩埚变软，石英坩埚外部必然需要高温状态下的支撑材料。在加热过程中，加热器首先辐射热量给石墨坩埚，石墨坩埚传递热量进一步加热石英坩埚，然后再维持石英坩埚内部硅料的状态，因此通常需要耐高温1600℃以上。单晶炉用石墨坩埚，主要采用等静压高纯石墨制成，大多数石墨坩埚使用正常寿命约40-60炉次，硅蒸汽在石墨表层的长期反复渗透沉积容易导致石墨坩埚损坏。

     为了防止这种情况发生，可以选用ZS-1052单晶硅炉石墨坩埚抗氧化涂料对石墨坩埚进行表面处理。ZS-1052石墨防氧化剂采用新型化工合成技术——树脂主链熔断技术，在石墨中渗透性、包裹性好，同时有物理粘附和化学桥联作用，能和基体形成一体化结构。涂刷后涂料耐温可以达到1800℃高温。有效防止硅蒸汽渗透接触石墨，单晶硅炉石墨坩埚抗氧化涂料防止石墨坩埚制品被侵蚀损坏。

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